特種氣體是指稀有氣體或超高純度(99.995% 以上)的氣體。包括分析、醫(yī)1藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會受益于特種氣體的獨特性質(zhì),它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。隨著國產(chǎn)化的推進,部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng),占據(jù)市場半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品,中國的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內(nèi)的需要,但需清醒的看到,從核心競爭力,質(zhì)量管理,品牌效應(yīng)方面來說,我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示,中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長,僅2016年,中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是,從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國家占據(jù)較好的地位。
對特氣的危害性進行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進行評估。管道設(shè)計應(yīng)進行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。
我國特種氣體行業(yè)在 2006 年后進入快速發(fā)展階段,廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保和新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學(xué)氣體,也就是氣體類別中的電子氣體,特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測等步驟,其中氣體的純化、混配等是氣體公司的核心競爭力。
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